国产光刻机第一股：华卓精科科创板过会，与清华共享专利

芯东西 9 月 17 日报道，今天，北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称"华卓精科"）于科创板成功过会。华卓精科主营业务为超精密测控设备，产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘、晶圆级键